气浮导轨按工作原理分为两种基本类型:空气动压导轨和空气静压导轨。动压型如图1左图所示,两个面相对移动且间隙呈楔形,沿移动方向间隙逐渐变小。由于相对移动,气体因其黏性作用,被拖带压入楔形间隙中,从而产生压力,构成动压悬浮。静压型如图1右图所示,是将外部的压缩气体,通过节流孔导入间隙中,借助其静压使之悬浮起来,节流孔的作用是当间隙变化时,调整间隙内的压力,从而使导轨具有刚度。气浮导轨是由导轨和溜板组成的滑动副,导轨和溜板之间为气膜润滑。
气浮导轨的特点:
1、气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动。
2、它具有运动精度高、清洁无污染等特点。
3、因其误差均化作用,可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。
4、通常与伺服驱动,传感器组成闭环系统,实现高精度位移定位。
5、气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。
气浮导轨组成部分:
(1)导轨座和溜板;
(2)节流器,如小孔节流器、毛细管节流器、、薄膜反馈节流器等;
(3)供气系统及调节装置。