气浮导轨（Air Bearing Guide），又称为气体静压导轨，是一种利用压缩气体（通常是空气）在相对运动的两个表面之间形成一层薄气体膜，从而实现几乎无摩擦滑动的精密导向系统。这种技术广泛应用于需要高精度和稳定性的场合，如半导体制造设备、高精度测量仪器、光学测试平台以及高性能机床等。
工作原理
气浮导轨的基本工作原理依赖于流体静力学中的压力分布。通过向导轨与移动部件之间的微小间隙注入经过调节的压缩气体，形成一个均匀的压力场。这个气体层能够支撑起移动部件，并允许其在几乎没有机械接触的情况下自由滑动。由于气体的粘性极低，因此产生的摩擦力也非常小，这使得气浮导轨具有出色的平滑性和重复定位精度。
主要特点
超低摩擦：因为是基于气体润滑，所以摩擦系数极低，接近于零。
高精度：可以达到亚微米级别的直线度和平行度，非常适合用于精密加工和测量任务。
无磨损运行：由于没有直接的金属接触，理论上不存在磨损问题，延长了使用寿命并减少了维护需求。
稳定性好：即使在高速运转下也能保持良好的动态性能，适合长时间连续作业。
清洁环保：使用空气作为介质，不会产生污染物，有利于保持工作环境的洁净度。
应用领域
半导体制造业：如光刻机中对硅片进行精确移动和定位时所使用的线性驱动器。
精密检测设备：例如三坐标测量机(CMM)，需要高度准确的位置控制来确保测量结果的可靠性。
光学与激光技术：对于需要高稳定性的实验装置或工业生产线来说，气浮导轨提供了理想的解决方案。
数控机床：提升加工精度，特别是在微细加工领域有着不可替代的作用。
注意事项
尽管气浮导轨拥有众多优点，但在实际应用中也需要注意一些问题：
需要持续供应干净且干燥的压缩空气源，以保证系统的正常运作；
对环境要求较高，灰尘或其他颗粒物可能会干扰气膜的质量；
成本相对较高，包括初期投资及后续的运营成本。
综上所述，气浮导轨凭借其性能，在追求精度和稳定性的高科技领域扮演着重要角色。随着技术的进步，气浮导轨的应用范围还将不断扩大，为更多行业带来创新的可能性。
