气浮导轨（Air Bearing Guide），也被称为空气轴承导轨，是一种利用压缩空气在导轨与移动部件之间形成一层薄空气膜，从而实现无接触支撑和导向的技术。这种技术能够显著减少运动部件之间的摩擦力，提供很高的定位精度和平滑的运动特性，广泛应用于高精度机床、光学设备、半导体制造设备等领域。
工作原理
气浮导轨通过向导轨表面或滑块内的小孔、槽注入经过过滤的压缩空气，在导轨与移动部件之间形成一层稳定的空气膜。这层空气膜起到了缓冲作用，使移动部件悬浮于导轨之上，几乎消除了两者之间的直接接触，因此极大地降低了摩擦系数和磨损率，同时也减少了由于摩擦产生的热量和振动。
主要特点
高精度：由于几乎没有机械接触，气浮导轨可以达到亚微米级别的定位精度。
低摩擦：依靠空气膜进行支撑，摩擦力极低，有利于实现精密控制和高效能操作。
长寿命：缺乏物理接触意味着几乎没有磨损，从而延长了系统的使用寿命。
平稳性好：减少了传统导轨系统中可能出现的爬行现象，提供了更加平滑的运动性能。
自清洁功能：流动的空气有助于清除微小颗粒，保持工作环境的清洁度。
应用领域
精密加工：如超精密车床、磨床等，用于提高工件加工的尺寸精度和表面质量。
光学检测：适用于需要高稳定性平台的光学测量仪器，比如三坐标测量机（CMM）。
半导体制造：在晶圆制造过程中，对于需要很高精度的操作，如光刻机中的晶圆定位系统。
科研实验：支持各种要求苛刻的科学实验，特别是在物理学、天文学等领域中对稳定性和精确度有严格要求的场合。
使用气浮导轨时，需注意供气系统的清洁度和稳定性，确保进入导轨的压缩空气质量良好，并且压力恒定，以保证最佳的工作状态。此外，虽然气浮导轨具有许多优点，但其成本相对较高，维护也需要一定的专业知识。
