气浮轴承（Air Bearing），也被称为气体静压轴承，是一种利用气体（通常是空气）作为润滑介质来支撑负载的精密机械组件。与传统的液体润滑或固体接触式轴承不同，气浮轴承通过在相对运动的两个表面之间形成一层薄薄的气体膜来减少摩擦和磨损，从而实现近乎无摩擦的运行状态。
一、工作原理
气浮轴承的工作原理基于流体力学中的静压效应。通过外部供气系统将加压气体注入到轴承内部的特定区域，这些气体随后在两个紧密配合但不直接接触的表面间形成一层微小间隙内的压力分布。这层气体薄膜能够有效地分隔开两表面，并承担来自轴向、径向或者倾斜方向上的载荷，使得转子或其他运动部件可以在几乎无摩擦的状态下高速旋转或移动。
二、应用领域
由于其低摩擦特性和高精度定位能力，气浮轴承被广泛应用于需要很高精度和平滑运动的应用场合中，包括但不限于：
半导体制造设备：如光刻机等需要超高精度定位系统的设备。
精密测量仪器：例如坐标测量机(CMM)，用于精确检测零件尺寸。
光学和激光扫描系统：要求很高的稳定性和分辨率。
机床：为提高加工精度提供支持。
航空航天：在一些关键组件上使用以确保长时间稳定运行。
三、优点
低摩擦：几乎没有机械接触，因此摩擦损失极小。
长寿命：因为没有传统意义上的磨损，所以使用寿命理论上无限长。
高刚度：良好的静态和动态刚度特性，有助于保持工作精度。
清洁操作：使用空气作为润滑剂，不会产生污染。
尽管有诸多优点，但是气浮轴承的设计、制造和维护也面临着一定的挑战，比如对环境洁净度的要求较高，气体供应系统的稳定性直接影响着轴承性能，以及对于冲击载荷敏感等问题。此外，成本相对较高也是限制其更广泛应用的一个因素。不过，随着技术的进步，这些问题正在逐步得到解决，使得气浮轴承能够在更多领域发挥其优势。
